Høy-temperaturoksidasjons-RTP-utstyret vårt er et kjerneverktøy for termisk-storskala halvlederproduksjon-hovedoppgaven er å lage rene, tette SiO₂-filmer på silisiumsubstrater, perfekt for å lage CMOS-, IGBT- og MEMS-enheter. Det er mye brukt på tvers av halvlederproduksjon, ny energielektronikk, avanserte elektroniske komponenter, og til og med innstillinger for universiteter/forskningslaboratorier for halvleder-FoU og pilotproduksjon.
Hvordan velge riktig modell
Å velge den rette koker ned til produksjonsbehovene og -prosessene dine-her er en enkel oversikt:
1. 12-tommers modell
Hvis du er interessert i avansert masseproduksjon av store-oblater, er dette den. Den kan håndtere mer enn eller lik 125 wafere per båt, så den er flott for høy-volum, stor-produksjon av kjernehalvlederenheter. I tillegg tilbyr den presis temperaturkontroll (±0,5 grader) og en konstant temperatursone på større enn eller lik 850 mm, noe som sikrer jevn filmtykkelse (WIW/WTW/RTR mindre enn eller lik ±2%) for hver batch.
2. 8-tommers modell
Dette handler om fleksibilitet. Den fungerer med flere oksidasjonsmetoder-tørr oksygen (Si) og våt oksygen (rask fordampning/vannbad/HO-antenning)-slik at den passer de fleste vanlige masseproduksjonsbehov. Temperatur-messig varierer den fra 600-1150 grader med mindre enn eller lik ±0,5 graders kontrollnøyaktighet, og dens konstante temperatursone (300-860 mm) gir pålitelig filmuniformitet (WIW/WTW mindre enn eller lik ±2 %). Den er skreddersydd for 8-tommers masseproduksjon, så effektiviteten holder seg på nivå med store krav.
Hvem den er for og hvor den passer
Store halvlederprodusenter: 12-tommersmodellen er din favoritt for å få ut CMOS-brikker, IGBT-strømenheter og andre kjernekomponenter i store volumer.
Vanlige elektronikk/nye energiselskaper: 8-tommersmodellen skinner her-enten du lager bilelektronikk, 5G-kommunikasjonskjernedeler, elektroniske forbrukerbrikker eller krafthalvledere, dens multiprosesskompatibilitet holder produksjonen jevn.
Universiteter og forskningsinstitusjoner: 8--tommersmodellen er perfekt for å teste nye halvledermaterialer eller utvikle banebrytende enhetsprototyper. Den tilpasser seg enkelt til forskjellige FoU-oppsett, noe som er et stort pluss for laboratoriearbeid.
Et raskt notat om kvalitet: Vi bruker profesjonelle materialer og smart strukturell design for kammeret, så filmens renhet er garantert-ingen uønskede urenheter roter til ting. Og begge modellene utmerker seg ved stabile prosesser, takket være presis temperaturkontroll og jevn filmkvalitet.
Fortsatt usikker på hvilken som passer best? Ta kontakt med oss, så hjelper vi deg med å finne riktig utstyr for arbeidsflyten din!
