Lei av at klumpete utstyr tar over laboratoriet eller liten produksjonsplass? RTP-100 desktop RTP-systemet er bygget for små wafere (6 tommer maks)-perfekt for team som trenger presisjon uten å ofre kvadratmeter. Det er enkelt, pålitelig og skreddersydd for de daglige behovene til forskere og små serieprodusenter.
Hva vi elsker med det
Passer som hånd i hanske: Ved 910 mm×860 mm×695 mm (B×D×H) glir den inn i trange hjørner eller overfylte arbeidsbenker. Du trenger ikke å omorganisere hele oppsettet ditt bare for å legge til termisk prosesseringsevne.
Temperaturkontroll du kan stole på: To måter å regulere varme-termoelementet for romtemperatur opp til 800 grader og infrarødt pyrometer for 500 grader til 1200 grader. Varmer opp wafere opp til 150 grader /s (mye raskere enn med SiC- eller grafittbærere, som har en temperatur på 20-30 grader /s). Og konsistensen? Mindre enn eller lik ±3 grader ensartet under 600 grader , Mindre enn eller lik ±0,5 % over det, pluss ±1 grads repeterbarhet – slik at resultatene dine ikke vil variere batch til batch.
Ingen-oppstyr: Manuell lasting/lossing gjør ting enkelt (flott hvis du foretrekker håndkontroll), mens en summer og varsellamper gir deg beskjed hvis noe er av. PC-kontroll gjør det enkelt å justere parametere-og ingen komplisert opplæring kreves.
Dekker det grunnleggende (og litt til): Håndterer vakuum ned til 30 mTorr, holder oksygen under 3 ppm, og støtter opptil 4 MFC-kanaler. Enten du gjør ioneimplantasjonsglødning, oksidvekst eller varmebehandlinger med små prøver, sjekker den alle boksene for grunnleggende rask termisk behandling.
Hvem er det for
Dette er ikke for store-fabrikker-dette er for laboratorieteknologien som kjører daglige eksperimenter, den lille produsenten som kasserer tilpassede komponenter, eller forskerteamet som tester nye materialer. Hvis du jobber med små wafere og trenger konsistente resultater uten bryet med utstyr i industrielle-størrelser, er denne for deg.
Raske tips for å bruke det riktig
Bytte temperaturmoduser: Bruk termoelementet for temperaturer opp til 800 grader, og vri til infrarødt i PC-programvaren for noe varmere. Systemet kalibrerer seg selv automatisk-fin touch.
Laster wafere: Ikke hopp over de rene hanskene! Fingeravtrykk eller støv ødelegger resultatet. Håndter den forsiktig, uten å miste, og sørg for at den er sentrert på bæreren-enkle trinn som sparer hodepine senere.
Vanlige rettinger: Hvis summeren går av ved oppstart, sjekk først om hulromsdøren er låst godt (vi har alle glemt det!). Hvis oppvarmingshastigheten ikke når 150 grader /s, sørg for at du ikke bruker en transportør-som senker farten. Og hvis wafere oksiderer uventet, dobbelt-sjekk vakuumet (bør være mindre enn eller lik 30 mTorr) og oksygennivået (behold det<3 ppm).
Vedlikehold som betyr noe: Tørk av kvartskammeret med alkohol hver uke-smuss bygges opp raskere enn du tror. Kontroller lampene hver 3. måned (bytt etter 1000 timer) og tetningsringene hver måned for sprekker. Å, og ikke la vannkjølingen gå over 70 grader -det er en rask måte å skade deler på.
En solid arbeidshest
Sertifisert til SEMI S2-standarder, denne tingen er bygget for å vare. Den har ikke prangende ekstrafunksjoner du aldri kommer til å bruke, men den klarer det essensielle: presisjon, kompakthet og brukervennlighet. For laboratorier og små team som trenger en termisk prosesseringsløsning som fungerer, dag ut og dag inn, er RTP-100 en ingen-brainer. Det er ikke perfekt (ingenting er!), men det er pålitelig - og det er det som teller når du prøver å holde eksperimenter eller produksjon på sporet.
