Produktoversikt
RTP-utstyr med lav-temperatur: Det tilbyr eksepsjonelt presis temperaturkontroll fra 250 grader til 500 grader, og håndterer varmebehandling av materialer som litiumniobat og silisium effektivt.
Den kan behandle 150 8-tommers wafere per batch, og kan også håndtere 6-tommers wafere. Den eliminerer effektivt gitterdefekter, noe som gjør den egnet for både forskningspilotprosjekter og masseproduksjon.
Lav-temperatur RTP-utstyrets effektive partikkelforurensningskontroll forbedrer enhetens ytelse betydelig, og bidrar i stor grad til stabil produksjon i hele halvlederindustrikjeden.
Fordeler
1. Middels og lav temperaturkontroll er supernøyaktig-kutter ned på defekter i silisiumwafer-grensesnittet, og holder prosessstabilitet og ensartethet bunnsolid.
2. Utstyret kjører pålitelig og oppfyller de strenge presisjonsbehovene for fremstilling av optoelektroniske enheter.
3. Kapasitetsdesign er perfekt-og balanserer FoU og masseproduksjon. Enkelt-batchutgang er nok, slik at du kan bytte mellom produksjonsstadier uten å bytte ut utstyr.
4. Med effektiv rensing og jevn temperaturkontroll takler vi partikkelforurensning ved kilden. Det øker også enhetens isolasjon og lysfeltmodulering, og legger et solid grunnlag for høy avkastning.
Søknader
1. Produksjon av halvlederenheter:
Fungerer for å lage CMOS, IGBT-er og andre enheter-zaps wafer interface gitterdefekter rett i området 250 grader -500 grader lavtemperatur. Øker materielle elektriske egenskaper, gjør enhetene mer pålitelige, øker masseproduksjonsutbyttet og holder batchytelsen konsistent.
2. Fremstilling av optoelektronisk enhet:
Passer til VCSELer, fotodetektorer og lignende produkter. Reduserer partikkelinterferens under gløding, slik at kvaliteten på silisiumwafer-grensesnittet forblir solid. Forbedrer også tynnfilmtetthet, optisk feltbegrensning og elektrisk isolasjon-i tillegg til at den er kompatibel med litiumniobat og andre materialer, og støtter integrert produksjon av optiske enheter.
3. Forskning og prosessvalidering:
Perfekt for universiteter og laboratorier som jobber med banebrytende-ting som silisiumkarbid og kvantebrikker. Fleksibel enkelt mellom små-batch-eksperimenter og stor-behandling, med presis temperaturkontroll som holder prosessene stabile. Hjelper med å justere prosessparametere og spikere teknologiske gjennombrudd.
Parametere
|
Wafer størrelse |
8 tommer (kompatibel med 6 tommer) |
|
Temperaturområde |
250 grader -500 grader |
|
Flat sone |
860mm |
|
Lastekapasitet |
150 oblater/batch |
|
Gjeldende materialer |
Litiumniobat, silisium, etc |
FAQ
Hvilke wafer-størrelser kan dette lavtemperatur-RTP-utstyret behandle-?
Den håndterer hovedsakelig 8-wafere, og 6-tommers fungerer også. Perfekt for behandling av små og mellomstore halvledere og optoelektroniske enheter.
Hvordan er temperaturkontrollområdet og nøyaktigheten? Kan den oppfylle kravene til lav-temperaturprosesser?
Temperaturen varierer fra 250 grader til 500 grader, og kontrollen er super presis. Den konstante temperatursonen er 860mm lang, så den regulerer det lave-temperaturområdet nøyaktig-oppfyller fullstendig-lavtemperaturvarmebehandlingsbehovene til halvledere og optoelektroniske enheter!
Hva er det maksimale antallet wafere som kan behandles per batch? Kan den brukes til både forskning og masseproduksjon?
150 oblater per batch. Det er nok for små-batch-eksperimenter på universiteter og laboratorier, og det holder også tritt med effektivitetsbehovene til bedriftens masseproduksjons-arbeid for begge sider.
Hvilke materialer kan den behandle? Er den kompatibel med vanlige optoelektroniske enheter?
Den kan behandle materialer som litiumniobat og silisium. Flott for å lage halvlederenheter som CMOS og IGBT-er, pluss optoelektroniske enheter som VCSEL-er. Dekker alle ordinære materialkrav.
Hva garanterer stabiliteten til prosessen, for eksempel kontroll av partikkelforurensning?
Den har avansert partikkelforurensningskontroll og effektiv renseteknologi for å redusere partikkelinterferens under prosessering. Høy-temperaturkontroll holder prosesser som oksidasjon og gløding jevne og stabile-ingen grunn til å bekymre deg for produktutbytte.
Populære tags: lav-temperatur rtp utstyr, Kina lav-rtp utstyr produsenter, leverandører
